华为哈勃加码光刻胶,投资华懋科技参股子公司徐州博康

工商信息显示, 上市公司华懋科技通过东阳凯阳科技创新发展合伙企业,间接持有徐州博康24%的股份。根据华懋科技2021年07月21日披露的公告《华懋(厦门)新材料科技股份有限公司关于公司参与的合伙企业对外投资进展公告》,华为哈勃(即公告中提到的合格投资者)的投资金额为3亿元,为华为哈勃历史上最大单笔半导体投资。

光刻胶被称为半导体材料皇冠上的明珠,由于国产化率低同时产品保质期只有6-8个月,光刻胶成了目前国内芯片制造领域最卡脖子的材料之一。2021年5月27日,一则信越化学已向中国大陆多家一线晶圆厂限制供货KrF光刻胶,且已通知更小规模晶圆厂停止供货KrF光刻胶的消息震惊产业界。光刻胶缺货在信越停产之前已有表现,信越事故加剧市场供需失衡,国产替代的迫切需求再次被摆在聚光灯下。

公开资料显示,徐州博康具有自主完整的光刻胶产业链,已实现从单体材料、专用树脂、光酸以及最终光刻胶产品的全品类国产化。与其他半导体光刻胶厂商相比,徐州博康的显著特色是光刻胶单体材料全部自供,光刻胶单体是光刻胶实现光刻胶功能最核心的原材料,是卡脖子材料中的卡脖子材料,徐州博康是中国目前唯一可以规模化生产中高端光刻胶单体材料的企业,2017年起,开始承担国家863项目的国际02项目中的《193纳米光刻胶的开发与产业化》,并于2019年正式被国家确定为光刻胶单体的国标制定单位。

早些年中国半导体光刻胶企业的生存环境并不好,首先是受到国外的技术封锁。从徐州博康董事长傅志伟的公开专访中提到的一个小插曲便可见一斑。一次和美国、日本的两家著名公司合作,由博康负责提供原材料,日本公司做下游产品,最后合成定制的产品供美国公司使用。三方约在日本开会。傅志伟介绍完了,美国人就直接说了一句“请中国人离场。”日本人相对比较客气:“傅桑,请出去休息一下。”因为他们要进行下一阶段的技术讨论。“我们就到外面去等,当时就觉得很郁闷,有种很屈辱的感觉,在某些领域中国人是完全被排挤在外的。”傅志伟回忆说,“可能平时大家交流的时候,也会听说类似的事情。但当我们置身其中时,那种民族情感是很强烈的。”经历了这次事件,傅志伟和初创团队就下定决心要做中国的光刻产品。事实上当时国内晶圆厂对国产材料替代的意愿也非常薄弱,在国内客户拓展方面也是困难重重。自从贸易战以来,华为付出惨痛代价之后,国内各界开始空前重视供应链安全,下游客户开始主动扶持国内半导体材料供应商,举国体制加持下的半导体行业迎来黄金发展期。

最近几年徐州博康也借助产业资本和政府的支持进入了快速发展阶段,凭借光刻胶单体技术上的积累,公司目前已成功开发出10余个高端光刻胶产品系列,包括多种电子束胶、193nm ArF干法光刻胶、248nm KrF正负型光刻胶、365nm I线正负型光刻胶及GHI超厚负胶。公开资料显示,徐州博康新建年产1100吨光刻材料及1万吨电子溶剂新工厂已于2021年6月份正式投产,项目全部达产后,可实现年产值20亿元,这也是中国目前第一个可以规模化生产中高端光刻胶的生产基地。

近期某券商分析师与国内某晶圆厂光刻胶负责人就国产ArF光刻胶产生观点分歧,引发了广泛的讨论。对于国产化光刻胶目前的技术水平,国内某晶圆厂光刻胶负责人认为国内在ArF这一领域基本是空白,“别扯ArF,没一家能看的,各个都不敢来见我。事件本身只是证券分析师和实业专家看问题角度的区别,被一些为博取流量的自媒体断章取义加工放大,无视国内厂商近几年取得的巨大进步,进行肆意诋毁。在目前美国对中国科技封锁越来越严的外部大环境情况下,出现这一类文章实在不可取。KrF光刻胶目前华懋科技旗下徐州博康和彤程新材旗下北京科华均已经实现量产,其中徐州博康的年产值20亿的新基地经过三年的建设和爬坡已于2021年6月份正式投产。争议较大Arf光刻胶方面,目前徐州博康正在进行干法ArF光刻胶中测,湿法ArF光刻胶正在进行研发。北京科华正在进行干法ArF光刻胶研发。工业和信息化部原部长李毅中在2021新京报贝壳财经夏季峰会上对于光刻胶和国产半导体材料和设备的评论,可以看作是权威和客观的评论“光刻机大家很了解,光刻胶也依赖进口,市场潜力巨大,产业链完整,这个优势发挥的不够好,应该鼓励优先使用国产设备材料和芯片,只有在试用中才能够试错、改进和提高”

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