数字中国集成电路“创芯大赛”决赛揭晓 东方晶源斩获二等奖

日前，2021数字中国创新大赛集成电路赛道暨首届全国集成电路“创芯大赛”决赛圆满结束。经过多轮的激烈角逐，东方晶源凭借电子束缺陷检测设备在国内外近200个参赛项目中脱颖而出，斩获此次大赛二等奖，展现出在集成电路良率管理领域的硬实力。

总决赛现场，来自北京、上海、深圳、西安4个赛区的前22个项目的代表们齐聚一堂进行路演和答辩。东方晶源电子束缺陷检测产品是此次决赛中为数不多集软件、硬件于一身的集成电路产业链上游设备。来自学术、产业、行业知名投资机构、产业孵化等多领域的评委均对该项目产生了浓厚的兴趣，与东方晶源项目代表进行了深入的交流和沟通。经过一天的激烈比拼，东方晶源凭借尖端的技术实力、创新性的解决方案以及出色的产品性能指标赢得了评委组的高度认可，斩获此次大赛二等奖。

东方晶源“六年磨一剑”，基于公司自有的电子束扫描核心技术，研发出了电子束晶圆缺陷检测设备。该设备用于检测半导体硅片在生产制造工艺环节中产生的物理缺陷和电性缺陷，通过缺陷定位和自动分类，用于改进工艺制程，属于芯片制造过程中良率检测和控制的关键环节。

由于电子束晶圆缺陷检测设备要达到纳米级的精度，相当于头发丝的“万分之一”，因此对其高速高精密机械平台、高精度电子束扫描成像系统、图形量测和缺陷检测软件等都提出了很高的要求。东方晶源在上述环节进行了大胆的技术创新，一举突破数个国家“卡脖子”环节，填补了国内相关技术领域空白。最为重要的是，该设备首台套已出机到国内头部晶圆代工厂，获得客户高度好评，实现了产业化突破。

近年来，地缘政治中芯片相关技术和产品被当做角力的有效“武器”，芯片对各个国家的重要性上升到前所未有的高度。在芯片复杂的产业链当中，设备又是“卡脖子”之中的“卡脖子”部分。聚焦于集成电路良率管理的东方晶源正是致力于解决该方面“卡脖子”问题。除上述获奖设备外，还自主研发了关键尺寸量测装备（CD-SEM）、计算光刻产品（OPC）以及微电子设计与制造智能良率优化平台（HPO），可以有效解决国内集成电路产业多个难点，是该领域正在冉冉升起的一颗新星。

2021数字中国创新大赛集成电路赛道决赛已经圆满结束。本届大赛作为专业赛事平台，有助于深入挖掘集成电路产业创新创业人才、项目、技术和资本等产业资源，推动集成电路优秀人才和项目培育、发展，助力“芯”创业，创造“芯”奇迹。通过此次大赛涌现出了一些技术过硬的创新型企业，让大家看到我国集成电路产业发展的强劲势头，相信未来可期。

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